Japanese
半導体パッケージングの精密領域において、ウェハのダイシングは一か八かのプロセスです。ウェーハがより薄くなり、チップ構造がより複雑になるにつれて、従来の機械的ダイシングやレーザー切断は、マイクロクラック、チッピング、シリコン破片による汚染といった深刻な課題に直面しています。
高速ダイシングおよび薄化中に壊れやすいダイを保護するために、UV硬化型剥離可能な青色マスキング接着剤業界標準の仮接着材として登場しました。ただし、「しっかりとした一時的な保持」と「残留物ゼロで楽な剥離」の間の完璧なバランスを達成するには、単に優れた化学反応だけではなく、両者の間のシームレスな相乗効果が必要です。UV接着剤配合そしてUV LED硬化システム。産業用 UV LED 硬化ランプと先進的な UV 接着剤の両方を提供する大手統合メーカーとして、当社は、この 2 成分システムの最適化によって半導体バックエンドの歩留まり率にどのような革命がもたらされるかを検討しています。
バックラップ研削およびダイシング（鋸またはレーザー）中、ウェーハ表面は高い機械的ストレス、冷却水の圧力、および研磨屑にさらされます。標準的なサーマルテープや低品質の接着剤は、次の 2 つのいずれかの理由で失敗することがよくあります。
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接着力が不十分：高速ブレード ダイシングの応力により接着剤が早期に浮き上がり、水の浸入、エッジの欠け、またはダイ シフトの原因となります。
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困難な層間剥離 (Delam):ダイシング後、接着フィルムは剥がれにくく、過剰な機械的力が必要となるため、超薄ウェーハ（<100μm）に亀裂が入ったり、パッシベーション層に微視的な化学残留物が残ってワイヤボンディングパッドが破壊されたりします。
これらの製造上のボトルネックを克服するために、当社のエンジニアリング チームは、以下のようなパフォーマンスに優れたエコシステムを開発しました。高強度UV硬化型ブルーマスキングジェル私たちのとペアになった高均一スマート UV LED 硬化システム。
当社の UV 硬化型青色マスキング接着剤は、次の 2 段階のプロファイルを示すように細心の注意を払って合成されています。
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液体の状態:最適化された粘度 (スピン コーティングまたはスクリーン印刷用に調整可能) により、脆弱なトポグラフィ上を完全に気泡のない状態で確実にカバーします。
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硬化状態（ダイシング前）：弾力性に優れたクッションのような衝撃吸収層を形成します。酸性/アルカリ性の冷却液や激しい機械的摩擦に対して耐性があります。
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剥離状態 (ダイシング後):局所的な機械的剥離や特殊な UV 波のトリガーに遭遇すると、架橋マトリックスは制御された収縮を受け、接着力が高い保持力からほぼゼロまで低下し、きれいな一体型のリフティングが可能になります。化学残留物ゼロ。
最高級の UV 接着剤であっても、硬化が適切でないと失敗します。硬化が不完全な場合は、粘着性のある液体界面が残り、確実に残留物が残ります。硬化しすぎると脆化が起こり、剥がす際にフィルムが無数の破片に砕けてしまいます。
私たちの産業UV LED硬化ランプ半導体グレードの均一性を目的として設計されています。
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光学均一性 >93%:8 インチまたは 12 インチのウェーハ全体で「ホット スポット」または硬化が不十分なデッド ゾーンを防止し、すべての平方ミリメートルにわたって同一の剥離力を保証します。
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低温硬化 (狭帯域 365nm/395nm):従来の水銀ランプは大量の赤外線 (IR) 熱を放出し、薄いウェーハを変形させ、熱応力を引き起こします。当社のピュア UV LED アレイは単色エネルギーを供給し、ウェーハ基板を周囲温度に近い温度に保ちます。
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正確な線量制御:完全にプログラム可能な照射エネルギー (mJ/cm²) により、オペレーターは毎回、きれいな剥離に必要な正確な硬化深さを設定できます。
| パラメータ/機能 | 性能仕様 | 生産特典 |
|---|---|---|
| 接着剤の外観 | トランスルーセントビジュアルブルー | 簡単な自動光学検査（AOI） |
| 最適な硬化波長 | 365 nm / 395 nm (ピュア LED) | 熱応力ゼロ、ウェーハの反りなし |
| 硬化エネルギー要件 | 800～1200mJ/cm2 | 3 ～ 8 秒以内の超高速硬化 |
| 硬化後の剥離強度 | エンジニアリングロータイピール (< 0.1 N/25mm) | ストレスゼロの手動またはロボットによる剥離 |
| 熱抵抗 | 150℃まで（短時間） | レーザーダイシングの激しい熱に耐えます |
最近、半導体パッケージングベンダーから、イメージセンサー用の自動ウェーハダイシングラインについて当社に相談がありました。従来のテープを剥がした後、センサー チップのアクティブ エリアに残る微細な接着剤の残留物と、薄いダイのエッジ チッピングによって引き起こされる 4.5% の不良率に悩まされていました。
私たちのアプローチ:当社は、従来の水銀蒸気システムを当社のシステムに置き換えました。水冷UV LEDエリア硬化システムそして私たちのことを紹介しました低残留 UV ストリップ可能な青色の接着剤。
結果：
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ゼロ汚染:自動光学検査 (AOI) では、剥離後の表面が 100% きれいであると報告されました。
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ダイチッピングゼロ:硬化したブルーゲルの高い衝撃吸収性により、ダイシングブレードからの微小な衝撃を完全に緩和しました。
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スループットの向上:硬化時間は 45 秒 (熱/水銀ハイブリッド) からわずか 20 秒に短縮されました。ウェーハあたり 5 秒、UPH（単位/時間）を大幅に加速します。
あるベンダーから UV 接着剤を購入し、別のベンダーから UV 装置を購入すると、処理上の問題が発生したときに指差しゲームが発生することがよくあります。あなたの調達により、UV LED ライトシステムそしてUV硬化型接着剤1 人の専門エンジニアによって、絶対的な互換性、最適化された硬化プロファイル、および単一の技術責任が保証されます。
今すぐ当社のアプリケーションエンジニアにお問い合わせください当社の UV ストリッパブル ブルー接着剤の無料サンプルをリクエストするか、ウェハ ダイシング ライン用のカスタム光学シミュレーション レポートを入手してください。
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ウェブサイト: https://www.uv-ledcuring.com